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采用先進的進控制技術，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動小；
多通道工藝氣路，配合旋轉料臺，無沉積死角；
多級尾氣處理系統，能高效處理腐蝕性尾氣、固體副產物，環境友好；
可選配最新設計的防腐蝕真空機組，持續工作時間長，維修率低；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。
| 參數\型號 | VCVD-0305-BN | VCVD-0608-BN | VCVD-0612-BN | VCVD-0812-BN | VCVD-1015-BN | VCVD-1218-BN | VCVD-1315-BN | VCVD-1520-BN |
| 工作區尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1000×1500 | 1200×1800 | 1300×1500 | 1500×2000 |
| 最高溫度（℃） | 2000 | |||||||
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±20 | |||||||
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | |||||||
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | |||||||
以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
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