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      高溫粉體合成爐
      高溫粉體合成爐
      產(chǎn)品描述:
      高溫粉體合成爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的陶瓷粉體的合成。
      應(yīng)用范圍:
      高純碳化硅、碳化硼、碳化鋯、氮化硅、氮化硼、氮化鋁等粉體的制備。

      高溫粉體合成爐技術(shù)特征

      高溫粉體合成爐產(chǎn)品規(guī)格

      型號(hào)/參數(shù)HPSF-050515HPSF-060615HPSF-060618HPSF-080825
      工作區(qū)尺寸
      W×H×L(mm)
      500×500×1500600×600×1500600×600×1800800×800×2500
      最高溫度(℃)1800~24001800~24001800~24001800~2400
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
      最高壓力(MPa)<0.11/2<0.11/2<0.11/2<0.11/2

      以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


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