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      氧化鋁燒結爐
      氧化鋁燒結爐
      產品描述:
      氧化鋁燒結爐主要用于半導體領域的氧化鋁陶瓷胚體和制品的氣氛燒結、真空燒結。
      應用范圍:
      載盤、導軌和工件臺、機械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導熱基板、加熱器、結構件。

      氧化鋁燒結爐技術特征

      采用特殊的爐膽結構和加熱器布置,爐溫均勻性好;

      具備柔性抽真空,真空燒結、微正壓燒結、分壓燒結等功能;

      采用先進的隔熱結構和材料,爐膽隔熱性能好、蓄熱少,比傳統設計節能20%以上;

      采用特殊的高溫紅外測量技術,控溫準確,誤差小;

      適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

      氧化鋁燒結爐產品規格

      參數\型號HSO-040418HSO-050515HSO-060612HSO-060618VSO-0612VSO-0812VSO-1015
      工作區尺寸 W×H×L(mm)400×400×1500600×600×12001000×800×13001000×800×2500φ600×1200φ800×1200φ1000×1500
      最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-2000
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

      氧化鋁燒結爐配置選擇

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質:碳氈/石墨氈/固化氈/陶瓷纖維氈/金屬

      加熱器:金屬/石墨

      熱電偶:C分度號(鎢套管/鉬套管/陶瓷套管)

      紅外儀:單比色/雙比色

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      高性能陶瓷熱工裝備

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