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采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制H2、C3H6的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)小；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率低；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| 最高溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±10 | ±15 | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門/雙開(kāi)門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC
熱電偶：C/S分度號(hào)
紅外儀：?jiǎn)伪壬?雙比色
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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